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超高純氬、氦氣體純化器

采用高效吸氣劑對Ar,He氣體進行深度純化,也可以用于Kr, Xe等稀有氣體的純化。采用owx工藝。首先使用非消耗型純化材料預脫氣體中O2、H2O、C02、H2、CO,、CH4等大量雜質,延長了貴重消耗型吸氣劑的使用壽命,抗原料氣瞬間波動能力強(200%)。采用進口潔凈管道、閥門、全自動軌道焊、專利內加熱拋光反應器,全面保證產品質量。集約化箱體包裝,全自動運行。 
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